PI高負(fù)載物鏡掃描儀PIFOC系列

      PI PIFOC系列的壓電撓性平臺(tái)和物鏡掃描儀在定位和掃描任務(wù)中提供高動(dòng)態(tài)性。用于平行和垂直于光軸的XY試樣定位以及物鏡Z 聚焦的良好適配解決方案可作為標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品提供。與控制器和所有必需的連接電纜和軟件一起的系統(tǒng)中也可以方便地使用階段。與所有壓電系統(tǒng)一樣，顯微鏡載物臺(tái)和掃描儀在交付時(shí)都經(jīng)過測(cè)量日志預(yù)先校準(zhǔn)。

用于重型物鏡的長行程高動(dòng)態(tài)掃描系統(tǒng)

-大目標(biāo)的高動(dòng)態(tài)定位和掃描

-諧振頻率1120Hz；560Hz，210g物鏡質(zhì)量

-類型步進(jìn)和穩(wěn)定約 6 ms

-行程100 µm

-由于直接測(cè)量電容式傳感器，具有高的線性度、穩(wěn)定性和控制動(dòng)態(tài)

-分辨率 0.3 納米

-零間隙、高精度彎曲導(dǎo)向系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)更好的對(duì)焦穩(wěn)定性

帶電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，無需接觸。它們保證的運(yùn)動(dòng)線性度、長期穩(wěn)定性和kHz范圍內(nèi)的帶寬。

自動(dòng)配置和快速組件更換

機(jī)械和控制器可以根據(jù)需要組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲(chǔ)在機(jī)械裝置D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能都會(huì)使用此數(shù)據(jù)。

應(yīng)用領(lǐng)域

-超分辨率顯微鏡

-光碟顯微鏡

-共聚焦顯微鏡

-3D成像

-篩選

-干涉測(cè)量法

-測(cè)量技術(shù)

-自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)

-生物技術(shù)

-半導(dǎo)體測(cè)試

PI高負(fù)載物鏡掃描儀PIFOC系列